Avec Jean-Michel Raimond, il combine ces deux domaines en observant, en 1979, la superradiance millimétrique d’un ensemble d’atomes de Rydberg. Cette émission collective peut être facilitée par une cavité résonnante de haute finesse (200) entourant le milieu atomique. Le seuil d’émission collective est alors de quelques centaines d’atomes seulement. Dans une conclusion visionnaire de l’article présentant ces résultats, Serge Haroche pressent la possibilité d’abaisser encore ce seuil et d’observer une émission maser avec seulement quelques atomes, ouvrant ainsi un domaine alors totalement nouveau pour les expériences.
En augmentant la finesse de la cavité jusqu’à quelques millions grâce à des miroirs supraconducteurs, le groupe observe effectivement, en 1983, l’accélération par la cavité résonnante de l’émission d’un atome unique, un effet prévu par Purcell dès 1946 mais encore jamais observé.
Cette expérience précède de peu l’observation en 1985 par Daniel Kleppner (MIT, Cambridge) de l’effet inverse, l’inhibition de l’émission d’atomes de Rydberg, et la réalisation du premier « micromaser » par Herbert Walther (Max Planck Institut für Quantenoptik, Munich). Ce micromaser produit un rayonnement millimétrique continu avec beaucoup moins d’un atome de Rydberg en moyenne dans sa cavité supraconductrice.
Ces expériences marquent les débuts de l’Électrodynamique quantique en cavité (EDQC, ou CQED en anglais), l’étude d’un ou de quelques atomes couplés à un seul mode du rayonnement ne contenant que quelques photons, illustrant ainsi l’interaction matière-rayonnement dans sa plus simple expression. L’essentiel du travail scientifique de Serge Haroche et de ses collaborateurs sera consacré à son exploration.
Son équipe de Yale (où il est professeur à mi-temps de 1984 à 1993) démontre l’inhibition de l’émission spontanée dans le domaine optique et étudie les interactions entre atomes et surfaces. En parallèle, les expériences à l’ENS s’orientent à la fois, avec Valérie Lefèvre et Jean Hare, vers l’étude de résonances optiques de très haute qualité dans des petites sphères de silice et, avec Michel Brune, vers la réalisation en 1988 d’un micromaser à deux photons. C’est le premier oscillateur fonctionnant en continu sur une transition entre deux niveaux de Rydberg de même parité par émission simultanée de deux photons de même fréquence. Luis Davidovich et Nicim Zagury (Rio de Janeiro) entament une collaboration à long terme avec le groupe de l’ENS et explorent avec lui théoriquement les propriétés quantiques remarquables de cet oscillateur.